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      韓國(guó)NanoSystem非接觸光學(xué)表面形貌測(cè)量系統(tǒng)

      簡(jiǎn)要描述:韓國(guó)NanoSystem非接觸光學(xué)表面形貌測(cè)量系統(tǒng)
      型號(hào):NanoView-1800/NanoView-2400/NanoView-2700

      • 產(chǎn)品型號(hào):NanoView-1800
      • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
      • 更新時(shí)間:2024-12-04
      • 訪  問(wèn)  量:3070
      詳細(xì)介紹
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      應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,紡織/印染,汽車及零部件

      韓國(guó)NanoSystem非接觸光學(xué)表面形貌測(cè)量系統(tǒng)

      型號(hào):NanoView-1800/NanoView-2400/NanoView-2700

       

      高精度非接觸式表面形貌檢測(cè)

      無(wú)損3D表面輪廓分析

      宜用平臺(tái)提供快速、高效的工藝流程的監(jiān)控

      全面、直觀的軟件提供了式樣和應(yīng)用靈活性

       

       

      主要功能

      3D形貌測(cè)量

      高,深,間隔(從納米級(jí)到5mm

      粗糙度(R參數(shù))表面(S參數(shù))

      面積信息(體積,面積)

      2D測(cè)量

       

      NanoView可靠性在許多應(yīng)用領(lǐng)域發(fā)揮性能。

      NanoView 提供完整的表面形貌納米測(cè)量和分析技術(shù)方案。

       

      韓國(guó)NanoSystem非接觸光學(xué)表面形貌測(cè)量系統(tǒng)

      NV-Serise技術(shù)參數(shù)

      型號(hào)

      NanoView-1800

      NanoView-2400

      NanoView-2700

      測(cè)量原理

      非接觸三維 白光掃描干涉法(WSI/移相干涉法(PSI

      現(xiàn)場(chǎng)放大鏡

      1.0×(標(biāo)配)

      1.0×(標(biāo)配)

      1.0×(標(biāo)配)

      物鏡

      單鏡頭

      可選5個(gè)鏡頭(手動(dòng)鼻輪)

      可選5個(gè)鏡頭(自動(dòng)鼻輪)

      光源

      白光LED光源

      掃描方式

      閉環(huán)控制壓電促動(dòng)掃描方式

      縱向掃描范圍

      Max 270um(可拓展到:5mm

      縱向掃描速度

      12um/sec1X~5X倍率可選)

      傾斜

      ±3°(樣品臺(tái)傾斜)

      頭部?jī)A斜±5°(手動(dòng)模式)

      頭部?jī)A斜±5°(自動(dòng)模式)

      縱向分辨率

      WSI:0.5nm / PSI:0.1nm

      橫向分辨率

      0.2~4um(取決于物鏡/視場(chǎng)放大鏡倍率)

      臺(tái)階重復(fù)性

      0.5%1s

      XY樣品臺(tái)行程

      140×140mm(手動(dòng))

      230×230mm(自動(dòng))

      230×230mm(自動(dòng))

      XY樣品臺(tái)行程

      50×50mm(手動(dòng))

      100×100mm(手動(dòng))

      100×100mm(自動(dòng))

      Z軸行程

      30mm(手動(dòng))

      100mm(手動(dòng))

      100mm(自動(dòng))

      環(huán)境要求

      溫度:15~30℃,溫度變化量:<1/15min

      濕度:<60%,無(wú)凝結(jié)


       


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